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LINE TECH数字质量流量计

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LINE TECH数字质量流量计 数字质量流量计 MD30M MD100M MD300M MD500M MD600M
LINE TECH数字质量流量控制器

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LINE TECH数字质量流量控制器 数字质量流量控制器 MD30C MD100C MD300C MD400C MD500C MD600C MD700C
LINE TECH模拟质量流量计

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LINE TECH模拟质量流量计 模拟质量流量计 M2030VA M2100VA M2300VA M2500VA M2600VA
LINE TECH模拟质量流量控制器

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LINE TECH模拟质量流量控制器 MS30V M3030VA M3100VA M3200VA M3300VA M3400VA M3500VA M3600VA M3700VA
VAT法兰连接附件

VAT法兰连接附件

VAT法兰连接附件 用于安装真空组件,例如泵,阀门或传感器。
VAT气体和隔热专用阀

VAT气体和隔热专用阀

VAT气体和隔热专用阀 通常是为特殊要求而修改的标准阀门。
VAT加速器和同步加速器专用阀

VAT加速器和同步加速器专用阀

VAT加速器和同步加速器专用阀 存储环中的扇区关闭设备是为了最大程度地减少RF损耗并延长光束寿命。安全装置(例如快速关闭的阀门/百叶窗)用于防止空气涌入。束塞可以保护实验免受束载荷的影响。
VAT角阀或隔膜阀

VAT角阀或隔膜阀

VAT角阀或隔膜阀 是用于不需要光学自由通道的真空过程的切断装置。角度尺寸(安装尺寸)与商用组件(例如,弯头,T型件等)的尺寸一致,并确保可互换性。
VAT FPD和PV转换阀

VAT FPD和PV转换阀

VAT FPD和PV转换阀 用于负载锁定,传输和处理室隔离。产品针对每种应用量身定制,从而允许添加所需的属性以增强客户系统的性能。
VAT转移阀

VAT转移阀

VAT转移阀 用于负载锁定和处理室隔离。阀或嵌件安装在腔室之间或集成在一起。门用于在大气压侧隔离。尺寸符合SEMI标准,但客户可以指定尺寸。
VAT控制阀

VAT控制阀

VAT控制阀 结合控制器来控制真空过程中的压力。控制阀安装在处理室和泵之间,以控制抽速。这样可确保快速,准确地控制过程压力。
VAT闸阀和摆阀

VAT闸阀和摆阀

VAT闸阀和摆阀 主要用于涡轮和低温泵的隔离。除半导体行业外,它们还经常用于FPD生产系统,涂料行业和研发领域。
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